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1 установка литографии
n1) electr. Justier- und Belichtungsanlage, Maskenjustier- und Belichtungsanlage2) microel. Belichtungsanlage, Belichtungsgerät, JUB, Justier und Belichtungsanlage, Justier und Belichtungseinrichtung, Mask-Aligner, Maskenjustier und Belichtungsanlage, Waferjustier und Belichtungsanlage, Waferjustier- und Belichtungsanlage, lithografische Anlage, mikrolithografisches GerätУниверсальный русско-немецкий словарь > установка литографии
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2 установка совмещения и экспонирования
n1) eng. Justier- und Kopiereinrichtung, Überdeckungseinrichtung2) electr. Justier- und Belichtungsanlage, Maskenjustier- und Belichtungsanlage3) microel. JUB, Justier und Belichtungsanlage, Justier und Belichtungseinrichtung, Mask-Aligner, Maskenjustier und Belichtungsanlage, Strukturkopieranlage (для переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину), Waferjustier und Belichtungsanlage, Waferjustier- und BelichtungsanlageУниверсальный русско-немецкий словарь > установка совмещения и экспонирования
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3 установка фотолитографии
n1) electr. Maskenjustier- und Belichtungsanlage2) microel. Belichtungsgerät, Justier und Belichtungsanlage, Justier- und Belichtungsanlage, Mask-Aligner, Maskenjustier und BelichtungsanlageУниверсальный русско-немецкий словарь > установка фотолитографии